振動体およびその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-123156
公開番号（公開出願番号）：特開2002-321195
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年11月05日
要約：

【要約】【課題】環境温度変化による共振周波数の変動が少ない振動体を提供する。【解決手段】光偏向器200は、振動部材であるミラーチップ210と固定部材であるベース230とを有する振動体202と、ミラーチップ210を駆動するための磁気回路260とを備えている。ミラーチップ210は、一対の支持体212と、支持体212に対して振動し得る可動板214と、可動板214と支持体212を連結する一対の弾性部材216とを備えている。ミラーチップ210の支持体212はベース230に設けられた接着部236に常温硬化性接着剤によって固定されている。ベース230を主に構成している材料(例えば金属)はミラーチップ210の弾性部材216を主に構成している材料(例えば単結晶シリコン)よりも大きい熱膨張率を有している。

請求項（抜粋）：

一対の支持体とこれに対して振動可能な可動板と両者を連結している一対の弾性部材とを有する振動部材と、振動部材の支持体を保持する固定部材とを有しており、固定部材を主に構成している材料の熱膨張率が振動部材の弾性部材を主に構成している材料の熱膨張率よりも大きい、振動体。

IPC (5件)：

B81B 3/00 , G02B 26/08 , G02B 26/10 104 , G01P 9/04 , G01P 15/10

FI (5件)：

B81B 3/00 , G02B 26/08 E , G02B 26/10 104 Z , G01P 9/04 , G01P 15/10

Fターム (9件)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC05 , 2H041AZ01 , 2H041AZ08 , 2H045AB06 , 2H045AB10 , 2H045AB16 , 2H045AB73

引用特許：

審査官引用 (7件)

2自由度振動型マイクロアクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-078915 出願人：工業技術院長
光偏向器
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-008666 出願人：オリンパス光学工業株式会社
光走査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-010102 出願人：ブラザー工業株式会社

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