特許
J-GLOBAL ID：200903081173589820
凹凸面の表面欠陥検査装置
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
▲高▼橋 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-048837
公開番号（公開出願番号）：特開2005-241312
出願日： 2004年02月24日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：
【課題】 ピンぼけを防止して、正確な欠陥検出を可能にし、システムをシンプルにして、コストダウンを可能にすること。【解決手段】 凹凸面を有する対象物1に向け照明を行う照明2と、該対象物からの照明反射光を結像するレンズ4と、対象物からの反射光を撮像するカメラ5とを備え、該カメラ5から得られる映像信号を画像処理して対象物の表面欠陥を検査する凹凸面の表面欠陥検査装置および検査方法において、前記レンズ2の光軸に対して前記カメラ3を傾斜して配設することにより、前記対象物に対する被写界深度面を傾斜させたものであって、前記対象物が、凹凸のある平坦面を有する対象物であり、直線移動テーブル6によって前記対象物の前記平坦面が延在する一方向に移動する前記対象物の画像データを連続的に取り込み、画像処理して対象物の表面欠陥を検査する凹凸面の表面欠陥検査装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
凹凸面を有する対象物に向け照明を行う照明と、該対象物からの照明反射光を結像するレンズと、対象物からの反射光を撮像するカメラとを備え、該カメラから得られる映像信号を画像処理して対象物の表面欠陥を検査する凹凸面の表面欠陥検査装置において、
前記レンズの光軸に対して前記カメラを傾斜して配設することにより、前記対象物に対する被写界深度面を傾斜させた
ことを特徴とする凹凸面の表面欠陥検査装置。
IPC (4件)：
G01B11/30
, G01N21/88
, G01N21/952
, G06T1/00
G01B11/30 A
, G01N21/88 Z
, G01N21/952
, G06T1/00 300
2F065AA03
, 2F065AA21
, 2F065AA49
, 2F065BB01
, 2F065BB06
, 2F065BB08
, 2F065BB15
, 2F065BB16
, 2F065DD02
, 2F065FF04
, 2F065FF42
, 2F065FF64
, 2F065HH05
, 2F065JJ03
, 2F065JJ08
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065PP05
, 2F065PP12
, 2F065PP13
, 2F065QQ04
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ28
, 2F065QQ31
, 2F065UU02
, 2F065UU07
, 2G051AA90
, 2G051AB07
, 2G051BB01
, 2G051CA04
, 2G051CA06
, 2G051DA05
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 5B057AA01
, 5B057BA02
, 5B057BA19
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB02
, 5B057CB06
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CD12
, 5B057CE02
, 5B057CE05
, 5B057CE08
, 5B057DA03
, 5B057DA07
, 5B057DB02
, 5B057DB05
, 5B057DB08
, 5B057DC03
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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