特許
J-GLOBAL ID：200903081191263672

レーザ走査型顕微鏡

発明者：
林 直樹

林 直樹 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-312820
公開番号（公開出願番号）：特開2006-126363
出願日： 2004年10月27日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：
【課題】 光ビームの光軸の角度ずれと平行ずれを確実に検出できるレーザ走査型顕微鏡を提供する。【解決手段】 対物レンズ22の瞳位置における光ビームのビーム径を変化させることにより生じる光軸の角度ずれと平行ずれを、2次元センサ7(8)の受光面7a(8a)、7b(8b)、7c(8c)、7d(8d)上でのビームスポット17の照射位置の移動量と移動方向から検出し、この検出の結果に基づいて回転角度調整部4bと平行移動調整部4cを調整し光軸の角度ずれと平行ずれを補正する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光ビームを発生する光源と、 前記光源からの光ビームを標本上に集光させる対物レンズと、 前記光ビームを前記標本上で2次元走査する光走査手段と、 前記光ビームのビーム径を変化させるビーム径変換手段と、 前記ビーム径変換手段により前記光ビームのビーム径を変化させることにより生じる光軸の角度ずれと平行ずれを検出する光軸ずれ検出手段と、 を具備したことを特徴とするレーザ走査型顕微鏡。
IPC (1件)：
G02B 21/00
FI (1件)：
G02B21/00
Fターム (6件)：
2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AD36
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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