有機色素増感型金属酸化物半導体電極及びその製造方法、並びにこの半導体電極を有する太陽電池

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：江藤聡明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-314333
公開番号（公開出願番号）：特開2003-123853
出願日： 2001年10月11日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】低温で簡易に得られ、高いエネルギー変換効率を有する有機色素増感型金属酸化物半導体電極、及びこれを備えた有機色素増感型太陽電池を提供すること。【解決手段】表面に透明電極を有する基板23、その透明電極上に形成された金属酸化物半導体膜、及びその半導体膜表面に吸着した有機色素を含む有機色素増感型金属酸化物半導体電極において、前記金属酸化物半導体膜が、支持体20a,20b上にターゲット21a,21bが設けられたターゲット電極と、その背後に磁石22a,22bを有するスパッタリング部が隣接して設置され、スイッチングユニット24を介して1つの交流源が接続されているデュアルカソード方式マグネトロンスパッタリング法により形成される、有機色素増感型金属酸化物半導体電極及びこれを有する太陽電池。

請求項（抜粋）：

表面に透明電極を有する基板、その透明電極上に形成された金属酸化物半導体膜、及びその半導体膜表面に吸着した有機色素を含む有機色素増感型金属酸化物半導体電極において、前記金属酸化物半導体膜が、デュアルカソード方式マグネトロンスパッタリング法により形成されていることを特徴とする有機色素増感型金属酸化物半導体電極。

IPC (2件)：

H01M 14/00 , H01L 31/04

FI (2件)：

H01M 14/00 P , H01L 31/04 Z

Fターム (15件)：

5F051AA01 , 5F051AA09 , 5F051BA13 , 5F051CB15 , 5F051FA02 , 5F051GA03 , 5F051HA04 , 5F051HA20 , 5H032AA06 , 5H032AS16 , 5H032BB05 , 5H032EE07 , 5H032EE16 , 5H032EE17 , 5H032HH04

引用特許：

審査官引用 (7件)

半導体電極およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-347683 出願人：株式会社豊田中央研究所
光電変換素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-364918 出願人：日立マクセル株式会社
電極
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-367398 出願人：株式会社豊田中央研究所

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引用文献：

審査官引用 (1件)

Photoelectrochemical studies of dye-sensitized polycrystalline titanium oxide thin films prepared by

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