特許
J-GLOBAL ID：200903081266317790

マイクロアクチュエータアレー、並びに、これを用いたマイクロアクチュエータ装置、光スイッチアレー及び光スイッチシステム

発明者：
赤川 圭一

赤川 圭一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-349313
公開番号（公開出願番号）：特開2004-184564
出願日： 2002年12月02日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】アドレス回路等を搭載することなく、外部に引き出す配線の本数を減らす。【解決手段】各アクチュエータがなすコンデンサC11,C12,C13の固定電極128は、第1の端子群の端子CD1に共通して電気的に接続される。コンデンサC21,C22,C23の固定電極128は、第1の端子群の端子CD2に共通して電気的に接続される。コンデンサC31,C32,C33の固定電極128は、第1の端子群の端子CD3に共通して電気的に接続される。コンデンサC11,C21,C31の可動電極は、第2の端子群の端子CU1に共通して電気的に接続される。コンデンサC12,C22,C32の可動電極は、第2の端子群の端子CU2に共通して電気的に接続される。コンデンサC13,C23,C33の可動電極は、第2の端子群の端子CU3に共通して電気的に接続される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数のマイクロアクチュエータと、複数の端子からなる第1の端子群と、複数の端子からなる第2の端子群と、を備えたマイクロアクチュエータアレーであって、 前記各マイクロアクチュエータは、固定部に対して移動し得るように設けられた可動部と、前記固定部に設けられた第1の電極部と、前記可動部に設けられ前記第1の電極部との間の電圧により前記第1の電極部との間に静電力を生じ得る第2の電極部と、を有し、 前記各マイクロアクチュエータに関して、前記可動部は、前記静電力が増大する第1の位置と前記静電力が低下又は消失する第2の位置との間を移動し得るとともに、前記第2の位置に復帰しようとする復帰力が生ずるように、設けられ、 前記各マイクロアクチュエータに関して、当該マイクロアクチュエータの前記第1の電極部が、前記第1及び第2の端子群のうちの一方の端子群のいずれか1つの端子に電気的に接続されるとともに前記第1及び第2の端子群の他の端子に電気的に接続されず、 前記各マイクロアクチュエータに関して、当該マイクロアクチュエータの前記第2の電極部が、前記第1及び第2の端子群のうちの他方の端子群のいずれか1つの端子に電気的に接続されるとともに前記第1及び第2の端子群の他の端子に電気的に接続されず、 前記各マイクロアクチュエータに関して、当該マイクロアクチュエータの前記第1の電極部に電気的に接続された第1又は第2の端子群の1つの端子と当該マイクロアクチュエータの前記第2の電極部に電気的に接続された前記第1又は第2の端子群の1つの端子との組み合わせは、当該マイクロアクチュエータに固有のものとなり、 前記第1の端子群の少なくとも1つの端子が、前記複数のマイクロアクチュエータのうちの2つ以上のマイクロアクチュエータの前記第1又は第2の電極部に、共通して電気的に接続され、 前記第2の端子群の少なくとも1つの端子が、前記複数のマイクロアクチュエータのうちの2つ以上のマイクロアクチュエータの前記第1又は第2の電極部に、共通して電気的に接続された、 ことを特徴とするマイクロアクチュエータアレー。
IPC (5件)：
G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81B7/04 ,  H02N1/00
FI (5件)：
G02B26/08 E ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81B7/04 ,  H02N1/00
Fターム (5件)：
2H041AA16 ,  2H041AB13 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ05
引用特許：
審査官引用 (4件)
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