特許
J-GLOBAL ID:200903081303583039
光表面特性の測角検査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
志賀 正武
, 渡邊 隆
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-030971
公開番号(公開出願番号):特開2008-164628
出願日: 2008年02月12日
公開日(公表日): 2008年07月17日
要約:
【課題】 一方で、例えば僅かに異なる立体角の下で塗装部を種々に眺めることによって生じるそのような変化を分離することができるが、他方で、互いに著しくずれている角度で観察することもできるようにする。【解決手段】 少なくとも一つの所定の第一立体角にして検査すべき表面に放射する少なくとも一つの第一照射装置と、輻射を位置分解して検出することができ、少なくとも一つの所定の第二立体角にして前記表面に対して配置されていて、前記表面に照射され、この表面から戻って来る輻射を捕捉する少なくとも一つの第一検出装置と、を備えた、光表面特性を検査する装置において、前記照射装置および/または前記検出装置を配置している状態の少なくとも一つの立体角が可変できるようになっており、前記照射装置と前記検出装置が少なくとも一部光反射特性を保有する一つの空間の中に配置されている、ことを特徴とする装置。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
少なくとも一つの所定の第一立体角にして検査すべき表面に放射する少なくとも一つの
第一照射装置と、
輻射を位置分解して検出することができ、少なくとも一つの所定の第二立体角にして前
記表面に対して配置されていて、前記表面に照射され、この表面から戻って来る輻射を捕
捉する少なくとも一つの第一検出装置と、
を備えた、光表面特性を検査する装置において、
前記照射装置および/または前記検出装置を配置している状態の少なくとも一つの立体
角が可変できるようになっており、
前記照射装置と前記検出装置が少なくとも一部光反射特性を保有する一つの空間の中に
配置されている、
ことを特徴とする装置。
IPC (3件):
G01N 21/88
, G01N 21/27
, G01J 3/46
FI (3件):
G01N21/88 Z
, G01N21/27 B
, G01J3/46 Z
Fターム (43件):
2G020AA08
, 2G020DA02
, 2G020DA04
, 2G020DA12
, 2G020DA22
, 2G020DA31
, 2G020DA35
, 2G020DA36
, 2G020DA45
, 2G020DA52
, 2G051AA89
, 2G051AB12
, 2G051BA01
, 2G051BA08
, 2G051BB01
, 2G051BB09
, 2G051BB15
, 2G051BB20
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CC07
, 2G051CC11
, 2G051EA17
, 2G059AA05
, 2G059BB08
, 2G059BB15
, 2G059EE02
, 2G059EE12
, 2G059EE13
, 2G059GG02
, 2G059GG03
, 2G059HH02
, 2G059JJ02
, 2G059JJ05
, 2G059JJ07
, 2G059JJ22
, 2G059JJ26
, 2G059KK01
, 2G059KK03
, 2G059KK04
, 2G059PP04
引用特許:
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