特許
J-GLOBAL ID:200903081340010235
無機粒子含有感光性組成物および感光性フィルム
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-081032
公開番号(公開出願番号):特開2001-264967
出願日: 2000年03月22日
公開日(公表日): 2001年09月28日
要約:
【要約】【課題】 高感度で寸法精度の高いパターンを形成することができる無機粒子含有感光性組成物およびそれから得られる感光性フィルムを提供すること。【解決手段】 エチレン性不飽和基含有化合物として、1分子中に少なくとも4つの(メタ)アクリロイル基を有する化合物を含有することを特徴とする、無機粒子含有感光性組成物および感光性フィルムを提供する。
請求項(抜粋):
(A)無機粒子、(B)アルカリ可溶性樹脂(C)エチレン性不飽和基含有化合物として、1分子中に少なくとも4つの(メタ)アクリロイル基を有する化合物および(D)光重合開始剤を含有することを特徴とする、無機粒子含有感光性組成物。
IPC (10件):
G03F 7/004 501
, G03F 7/004 512
, C08F 2/44
, C08F 2/50
, C08F291/06
, C08J 5/18 CEY
, C08K 3/00
, C08L101/12
, G03F 7/027 502
, H01J 9/02
FI (11件):
G03F 7/004 501
, G03F 7/004 512
, C08F 2/44 A
, C08F 2/44 C
, C08F 2/50
, C08F291/06
, C08J 5/18 CEY
, C08K 3/00
, C08L101/12
, G03F 7/027 502
, H01J 9/02 F
Fターム (84件):
2H025AA01
, 2H025AA03
, 2H025AB11
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC34
, 2H025BC43
, 2H025CC08
, 2H025FA17
, 4F071AA32
, 4F071AA33
, 4F071AB18
, 4F071AB26
, 4F071AB27
, 4F071AC07
, 4F071AE06
, 4F071AE17
, 4F071AF05
, 4F071AH12
, 4F071BA02
, 4F071BB02
, 4F071BC02
, 4J002BG011
, 4J002BG041
, 4J002BG051
, 4J002BG072
, 4J002DE096
, 4J002DE106
, 4J002DE146
, 4J002DJ016
, 4J002EE037
, 4J002EU117
, 4J002EU187
, 4J002EV307
, 4J002EW147
, 4J002FD016
, 4J002FD142
, 4J002FD157
, 4J011AA05
, 4J011AC04
, 4J011PA07
, 4J011PA13
, 4J011PA14
, 4J011PA15
, 4J011PA69
, 4J011PB22
, 4J011PB38
, 4J011PC02
, 4J011PC08
, 4J011QA23
, 4J011QB14
, 4J011QB16
, 4J011QB20
, 4J011QB24
, 4J011QB25
, 4J011SA02
, 4J011SA05
, 4J011SA06
, 4J011SA32
, 4J011SA41
, 4J011SA42
, 4J011SA64
, 4J011SA76
, 4J011SA78
, 4J011SA80
, 4J011SA84
, 4J011UA01
, 4J011VA01
, 4J011WA01
, 4J026AA16
, 4J026AA45
, 4J026AA47
, 4J026AA48
, 4J026AB01
, 4J026AB07
, 4J026BA28
, 4J026DB06
, 4J026DB36
, 4J026GA07
, 5C027AA01
, 5C027AA05
, 5C027AA09
引用特許:
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