特許
J-GLOBAL ID：200903089053553571
アルカリ現像型光硬化性組成物及びそれを用いて得られる焼成物パターン
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
▲吉▼田 繁喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-063905
公開番号（公開出願番号）：特開平11-249303
出願日： 1998年03月02日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】 焼成後のパターンエッジのカールや線幅収縮等の問題もなく、フォトリソグラフィー技術により容易に高精細の導電パターン、ガラス質誘電体パターン、蛍光体パターンなどの焼成物パターンを形成できるアルカリ現像型の光硬化性組成物及びそれにより得られる焼成物パターンを提供する。【解決手段】 組成物は、(A)エポキシ化合物(a)に不飽和モノカルボン酸(b)を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物(c)を反応させて得られる活性エネルギー線硬化性樹脂、(B)無機粉体、(C)光重合開始剤、(D)反応性希釈剤、(E)安定剤及び(F)溶剤を含有する。別の態様においては、上記各成分に加えてさらに(G)アクリル系共重合樹脂を含有する。このような光硬化性組成物を基板上に塗布した後、所定のパターン通りに露光し、アルカリ水溶液により現像した後、焼成することにより、高精細の焼成物パターンを形成できる。
請求項（抜粋）：
(A)エポキシ化合物(a)と不飽和モノカルボン酸(b)を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物(c)を反応させて得られる活性エネルギー線硬化性樹脂、(B)無機粉体、(C)光重合開始剤、(D)反応性希釈剤、(E)安定剤、及び(F)溶剤を含有することを特徴とするアルカリ現像型光硬化性組成物。
IPC (15件)：
G03F 7/027 515
, C08F 2/48
, C08F290/06
, C09D 4/00
, C09D 5/00
, C09D 5/24
, C09D163/10
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 502
, H01B 1/22
, H01B 3/00
, H01B 3/08
, H01J 9/20
, H01J 9/227
, H01J 17/49
G03F 7/027 515
, C08F 2/48
, C08F290/06
, C09D 4/00
, C09D 5/00 C
, C09D 5/24
, C09D163/10
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 502
, H01B 1/22 A
, H01B 3/00 F
, H01B 3/08 A
, H01J 9/20 A
, H01J 9/227 F
, H01J 17/49 Z
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (17件)
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