特許
J-GLOBAL ID：200903081377566934
変位素子及びその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-361744
公開番号（公開出願番号）：特開2000-183413
出願日： 1998年12月21日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【課題】 低重量,高速応答,サブミクロンオーダの変位を可能にさせる変位素子を提供する。【解決手段】 1は基体、2は該基体1中に設けられた空孔(空位)、3は基体1上に積層された電気-機械変換素子で、該基体1と電気-機械変換素子3とで構造体を構成している。軽量化の要請から、この構造体を微小に作製する。このような変位素子によれば、圧電横効果による撓み振動は、その構造体の小型、高い強度により応答速度が速く、かつ、0.5ミクロン程度の変位が得られる。共振点による振動では、低電圧駆動が可能であり、また、強制振動での仕様に際しては電気-機械変換素子を積層型に変更することで、動作電圧の増加を防ぐことが可能になる。
請求項（抜粋）：
部分的に空の部位を有する基体と該基体上に積層された電気-機械変換素子とにより構造体を構成し、該構造体の有する共振振動、もしくは/または、強制振動にて該構造体の一部を変形させることを特徴とする変位素子。
IPC (3件)：
H01L 41/083
, H01L 41/09
, H02N 2/00
H01L 41/08 N
, H02N 2/00 B
, H01L 41/08 M
