特許
J-GLOBAL ID:200903081665897880
バルク音響振動子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
上柳 雅誉
, 宮坂 一彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-051232
公開番号(公開出願番号):特開2008-219237
出願日: 2007年03月01日
公開日(公表日): 2008年09月18日
要約:
【課題】横振動モードに起因するスプリアスを従来より容易に低減できるとともに、周波数温度特性の制御性の向上を図ることの可能なバルク音響振動子を実現する。【解決手段】本発明のバルク音響振動子10は、圧電体膜12、該圧電体膜を挟む一対の電極11,13を含む積層構造と、温度補償膜14を有するバルク音響振動子において、前記積層構造のうち少なくとも前記一対の電極が前記圧電体膜を介して平面的に重なる動作平面範囲10P内で前記温度補償膜が偏在していることを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
圧電体膜、該圧電体膜を挟む一対の電極を含む積層構造と、温度補償膜を有するバルク音響振動子において、
前記積層構造のうち少なくとも前記一対の電極同士が前記圧電体膜を介して平面的に重なる動作平面範囲内で前記温度補償膜が偏在していることを特徴とするバルク音響振動子。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (5件):
5J108AA04
, 5J108BB07
, 5J108BB08
, 5J108CC11
, 5J108HH01
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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