特許
J-GLOBAL ID：200903081678204841

光変調装置及びその製造方法

発明者：
黒沢 龍一

黒沢 龍一 について

, 
紙透 真一

紙透 真一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-193379
公開番号（公開出願番号）：特開2003-005101
出願日： 2001年06月26日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：
【要約】【課題】 耐久性に優れる光変調装置及びその製造方法を提供することにある。【解決手段】 駆動電極130と微小ミラー220との電位差により生じる静電気力により、微小ミラー220を傾斜駆動させる光変調装置を製造する方法であって、微小ミラー220を傾斜駆動させるときの支点となる支持部280と、微小ミラー220を傾斜駆動させるときの軸となる軸部230と、を一体的に形成することを含む。
請求項（抜粋）：
駆動電極と微小ミラーとの電位差により生じる静電気力により、前記微小ミラーを傾斜駆動させる光変調装置を製造する方法であって、前記微小ミラーを傾斜駆動させるときの支点となる支持部と、前記微小ミラーを傾斜駆動させるときの軸となる軸部と、を一体的に形成することを含む光変調装置の製造方法。
IPC (3件)：
G02B 26/08 ,  B81B 5/00 ,  B81C 3/00
FI (3件)：
G02B 26/08 E ,  B81B 5/00 ,  B81C 3/00
Fターム (5件)：
2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08
引用特許：
審査官引用 (9件)
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