特許
J-GLOBAL ID：200903082095716247

基板処理装置および基板搬送装置

発明者：
中山 秀樹

中山 秀樹 について

, 
山田 洋平

山田 洋平 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-165663
公開番号（公開出願番号）：特開2009-004661
出願日： 2007年06月22日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：
【課題】搬送室の大型化を回避することができ、しかも処理チャンバの基板搬送のための開口を広くすることなく、さらに機構部に過度の負担をかけることのない基板搬送装置およびそのような基板搬送装置を搭載した基板処理装置を提供すること。【解決手段】基板搬送装置は、ガラス基板を支持した状態で処理チャンバ10内へ搬送するピック52と、ピック52を駆動する主駆動機構60とを有し、ピック52は、基部56bと、基部56bからフォーク状に延びる複数の第1支持部材56aと、第1支持部材56aに進出退避可能に接続された第2支持部材57aとを有し、これら第1支持部材56aと第2支持部材57aとで伸縮可能な支持部材を構成し、支持部材を伸ばした状態で基板が搬送される。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
基板載置台上の基板に所定の処理を施す処理チャンバと、 前記基板載置台に基板を搬送する基板搬送装置と、 前記基板搬送装置を収容し、前記処理チャンバが連結される搬送室と を具備し、 前記基板搬送装置は、基板を支持した状態で前記処理チャンバ内に進入して基板を前記基板載置台に搬送するピックと、ピックを駆動する主駆動機構とを有し、 前記ピックは、基部と、前記基部からフォーク状に延び基板を支持する複数の支持部材と、これら支持部材を伸縮動させる副駆動機構とを有し、前記支持部材を伸ばした状態で基板が搬送されることを特徴とする基板処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/06 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/44
FI (5件)：
H01L21/68 A ,  B65G49/06 A ,  H01L21/302 101G ,  H01L21/205 ,  C23C16/44 F
Fターム (43件)：
4K030CA04 ,  4K030CA06 ,  4K030GA12 ,  4K030KA45 ,  4K030LA18 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB18 ,  5F004BB28 ,  5F004BC05 ,  5F004BC06 ,  5F004BD01 ,  5F004BD04 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA03 ,  5F031GA48 ,  5F031GA50 ,  5F031HA33 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031LA07 ,  5F031LA13 ,  5F031LA16 ,  5F031MA03 ,  5F031MA28 ,  5F031NA08 ,  5F031NA09 ,  5F031NA18 ,  5F045AA08 ,  5F045DP03 ,  5F045DQ10 ,  5F045EF05 ,  5F045EH05 ,  5F045EH13 ,  5F045EH20 ,  5F045EN04 ,  5F045HA24
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (1件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-009106   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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