特許
J-GLOBAL ID：200903082237370033

研磨パッドおよびその製造方法

発明者：
鈴木 英郎

鈴木 英郎 について


出願人/特許権者：
株式会社イノアックコーポレーション

株式会社イノアックコーポレーション について


代理人 (1件)： 山本 喜幾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-046046
公開番号（公開出願番号）：特開2006-231429
出願日： 2005年02月22日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】研磨パッドの作業温度領域にガラス転移点を発現させず、かつ粘弾性挙動を安定的とし、温度変化に係る研磨安定性と、更には形状的または構造的な研磨安定性とを確保する。【解決手段】ポリオールおよびイソシアネートからなる主原料と各種副原料とから構成される単一のポリウレタンフォームから成形された研磨パッドであって、前記ポリウレタンフォームのガラス転移点を、20°C未満または50°Cを超える範囲に存在させると共に、そのASTM 2240に規定されるD硬度を40〜70の範囲とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ポリオールおよびイソシアネートからなる主原料と各種副原料とから構成される単一のポリウレタンフォームから成形された研磨パッドであって、 前記ポリウレタンフォームのガラス転移点を、20°C未満または50°Cを超える範囲に存在させると共に、そのASTM 2240に規定されるD硬度を40〜70の範囲とした ことを特徴とする研磨パッド。
IPC (2件)：
B24B 37/00 ,  C08J 5/14
FI (2件)：
B24B37/00 C ,  C08J5/14
Fターム (9件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB05 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  4F071AA53 ,  4F071AF25 ,  4F071DA20
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 研磨方法及び装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-020034   出願人：株式会社荏原製作所
  • 研磨パッド
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-022287   出願人：東洋紡績株式会社
審査官引用 (4件)
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