特許
J-GLOBAL ID:200903082419868886
有機電界発光素子製作用シャドーマスク
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (9件):
萼 経夫
, 宮崎 嘉夫
, 舘石 光雄
, 小野塚 薫
, ▲高▼ 昌宏
, 中村 壽夫
, 加藤 勉
, 村越 祐輔
, 小宮 知明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-121546
公開番号(公開出願番号):特開2004-335460
出願日: 2004年04月16日
公開日(公表日): 2004年11月25日
要約:
【課題】 有機電界発光素子の有機発光層蒸着時の、マスクの段差によるシャドー現象を防止し、有機発光層を均一の厚さで蒸着できるシャドーマスクを提供する。【解決手段】図6aはシャドーマスク170を用いて基板や画素電極48上に有機物質を蒸着する方法を示す。シャドーマスク170は、一方向に配列されたストライプ形状の複数のスロットを含み、スロットの周縁に傾斜面が形成される。スロット間のブリッジの両側の上部と下部に、傾斜面が夫々形成されるが、上部傾斜面の面積、幅、高さが下部傾斜面のそれと比べて大きい。ブリッジの厚さは、傾斜面のないシャドーマスク170領域のそれよりさらに薄い。シャドーマスク170は、スロットの周縁に傾斜面を有するため、有機化合物の蒸着時にシャドー現象を最小化できる。従って、デッドエリアを減らしシャドー現象を防止することで有機発光層を均一に形成する。【選択図】図6a
請求項(抜粋):
有機電界発光素子製造用シャドーマスクにおいて、
一方向に配列されたストライプ形状のスロットを含み、前記スロットの両側に傾斜面が形成されている有機電界発光素子製造用シャドーマスク。
IPC (3件):
H05B33/10
, C23C14/04
, H05B33/14
FI (3件):
H05B33/10
, C23C14/04 A
, H05B33/14 A
Fターム (10件):
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BC07
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029HA03
引用特許: