特許
J-GLOBAL ID：200903082469521186
ナノ多孔質アエロゲル用の低揮発性溶剤基前駆物質
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-342341
公開番号（公開出願番号）：特開平10-087316
出願日： 1996年11月18日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：
【要約】【課題】雰囲気制御を行うことなく多孔率が制御された薄膜のナノ多孔質エーロゲルをデポジットし、ゲル化し、エージングし、乾燥すること。【解決手段】アエロゲル前駆物質ゾルは、金属基アエロゲル前駆物質反応体と、ポリオールを含む第1溶剤とを備え、反応体における金属原子に対する第1溶剤の分子のモル比が少なくとも1:16となっている。好ましくは第1溶剤はグリセロールであり、好ましくはこのアエロゲル前駆物質反応体は、金属アルコキシド、少なくとも一部が加水分解された金属アルコキシド、粒状金属酸化物およびそれらの組み合わせから成る群から選択できる。一般に反応体における金属原子に対する第1溶剤の分子のモル比は12:1以下であり、好ましくは反応体における金属原子に対する第1溶剤の分子のモル比は1:2〜12:1の間である。
請求項（抜粋）：
アエロゲル前駆物質反応体と、ポリオールを含む第1溶剤とを備え、前記反応体における金属原子に対する前記第1溶剤の分子のモル比が少なくとも1:16である金属基ナノ多孔質アエロゲル前駆物質ゾル。
IPC (4件)：
C01B 33/16
, B01J 13/00
, H01L 21/316
, H01L 21/02
C01B 33/16
, B01J 13/00 G
, H01L 21/316 G
, H01L 21/02 Z
