特許
J-GLOBAL ID：200903082523515162
発振回路が適用された微細質量測定装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
八田 幹雄
, 奈良 泰男
, 齋藤 悦子
, 宇谷 勝幸
, 藤井 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-311053
公開番号（公開出願番号）：特開2005-148062
出願日： 2004年10月26日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：
【課題】 発振回路が適用された微細質量測定装置及び方法を提供する。【解決手段】 被検体が付着されるカンチレバー50と、カンチレバー50上に備わる圧電体53と、カンチレバー50を能動的に振動させると共に被検体によるカンチレバー50の変化した共振周波数を提供する発振回路60と、カンチレバー50の共振周波数を測定するための周波数測定器65と、を含むことを特徴とする発振回路60が適用された微細質量測定装置。該構成により、単一圧電体を用いてカンチレバー50の能動駆動と共振周波数の測定を共に行うので、加振器と共振周波数の変化量を測定する設備を独立的に備える必要がなく、これにより、測定装置の設備が単純化され、微細カンチレバー50はMEMS工程技術を用いて超小型化されうる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
被検体が付着されるカンチレバーと、
前記カンチレバー上に備わる圧電体と、
前記カンチレバーを能動的に振動させると共に被検体によるカンチレバーの変化した共振周波数を提供する発振回路と、
前記カンチレバーの共振周波数を測定するための周波数測定器と、を含むことを特徴とする微細質量測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (6件)
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米国特許第5,719,324号公報
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ナノ物質の質量計測方法及びその装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-158387
出願人：中山喜萬, 大研化学工業株式会社
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質量検出型ガスセンサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-234310
出願人：スタンレー電気株式会社
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審査官引用 (5件)
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