特許
J-GLOBAL ID：200903082549631365
シリコン部材の陽極接合法及びこれを用いたインクジェットヘッド製造方法並びにインクジェットヘッド及びこれを用いたインクジェット記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井沢 博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-372475
公開番号（公開出願番号）：特開2006-175765
出願日： 2004年12月24日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：
【課題】新たな陽極接合法により、インクとしてアルカリ性溶液等、多種のインクを用いてもインク室が侵食されることがなく、また、ノズルの穴部に蒸着物が付着しないようなインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】ガラス層を介して第1及び第2のシリコン部材を陽極接合する方法において、第1のシリコン部材37aの表面にSiO2酸化シリコン層4を形成後、更にその表面にガラス層を形成するとともに、第2のシリコン部材37bの表面にはSiO2よりも酸素が欠乏したSiOx(x<2)酸化シリコン層を形成し、上記ガラス層面と上記SiOX(x<2)酸化シリコン層面を接触させ、両部材を加熱しながら両部材間に電圧を印加することにより、第1及び第2のシリコン部材を接合する。【選択図】図1-2
請求項（抜粋）：
ガラス層を介して第1及び第2のシリコン部材を陽極接合する方法において、第1のシリコン部材の表面にSiO2酸化シリコン層を形成後、更にその表面にガラス層を形成するとともに、第2のシリコン部材の表面にはSiO2よりも酸素が欠乏したSiOx(x<2)酸化シリコン層を形成し、上記ガラス層面と上記SiOX(x<2)酸化シリコン層面を接触させ、両部材を加熱しながら両部材間に電圧を印加することにより、第1及び第2のシリコン部材を接合することを特徴とするシリコン部材の陽極接合法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
2C057AF70
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG42
, 2C057AN05
, 2C057AP02
, 2C057AP25
, 2C057AP28
, 2C057AP52
, 2C057AP56
, 2C057AP60
, 2C057AQ02
出願人引用 (3件)
審査官引用 (7件)
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