特許
J-GLOBAL ID：200903019874557291
インクジェットヘッドおよびその製造方法並びにインクジェット式記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
小川 勝男
, 田中 恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-007889
公開番号（公開出願番号）：特開2004-216747
出願日： 2003年01月16日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：
【課題】インクジェットヘッドにおいて、各基板にシリコン素材を用いて耐薬品性を高め、しかも各基板を陽極接合してインクとの適合性に優れたものとする。【解決手段】インクジェットヘッド31は、圧力室201を有するチャンバ基板200と、201圧力室を加圧するダイアフラム基板300と、ダイアフラム基板300によって加圧されたインクを吐出するノズル基板100とを備える。インクジェットヘッド31の製造方法は、チャンバ基板200、ダイアフラム基板300およびノズル基板100にシリコン素材を用いると共に、ノズル基板100の両面からドライエッチングすることによってノズル基板100の一面側から階段状に縮小するノズル流路、ノズル段差およびノズル孔よりなるノズル部101を形成し、チャンバ基板200をダイアフラム基板300およびノズル基板100にガラス層を介して陽極接合する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
圧力室を有するチャンバ基板と、前記圧力室を加圧するダイアフラム基板と、前記ダイアフラム基板によって加圧されたインクを吐出するノズル基板とを備えたインクジェットヘッドの製造方法において、
前記チャンバ基板、前記ダイアフラム基板および前記ノズル基板にシリコン素材を用いると共に、
前記ノズル基板の両面からドライエッチングすることによって前記ノズル基板の一面側から階段状に縮小するノズル流路、ノズル段差およびノズル孔を形成し、
前記チャンバ基板を前記ダイアフラム基板および前記ノズル基板にガラス層を介して陽極接合する
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J2/16
, B41J2/045
, B41J2/055
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG04
, 2C057AG12
, 2C057AG53
, 2C057AG55
, 2C057AG56
, 2C057AP02
, 2C057AP13
, 2C057AP28
, 2C057AP32
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
