基板検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-272466
公開番号（公開出願番号）：特開2004-108957
出願日： 2002年09月19日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】基板の大型化に伴う装置の大型化を抑える。【解決手段】基板100を保持する保持部材104と、基板100の被検査面における一部領域の像を形成する光学系121と、光学系121を基板100の表面と略平行な方向に、基板100に対して相対移動させるとともに、保持部材104により基板100を回転させて、基板100上の任意の部分を光学系121の撮像視野内に移動させる移動手段と、基板100の前記回転に応じて、光学系121の撮像視野の略中心を軸として、光学系121を回転させる回転手段とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を保持する保持部材と、前記基板の被検査面における一部領域の像を形成する光学系と、前記光学系を前記基板の表面と略平行な方向に、前記基板に対して相対移動させるとともに、前記保持部材により前記基板を回転させて、前記基板上の任意の部分を前記光学系の撮像視野内に移動させる移動手段と、前記基板の前記回転に応じて、前記光学系の撮像視野の略中心を軸として、前記光学系を回転させる回転手段とを備えたことを特徴とする基板検査装置。

IPC (5件)：

G01N21/956 , G01B11/24 , H01L21/027 , H01L21/66 , H01L21/68

FI (7件)：

G01N21/956 A , H01L21/66 J , H01L21/68 K , H01L21/30 515G , H01L21/30 525R , G01B11/24 K , G01B11/24 F

Fターム (51件)：

2F065AA20 , 2F065AA56 , 2F065BB02 , 2F065BB27 , 2F065CC19 , 2F065DD02 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL08 , 2F065LL12 , 2F065LL30 , 2F065MM03 , 2F065MM04 , 2F065MM07 , 2F065PP02 , 2F065PP12 , 2G051AA51 , 2G051AB07 , 2G051AC15 , 2G051BB07 , 2G051CA04 , 2G051CC07 , 2G051CC09 , 2G051DA08 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106CA38 , 4M106DB04 , 4M106DB12 , 4M106DB13 , 4M106DB18 , 4M106DB19 , 4M106DB20 , 4M106DB30 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031HA56 , 5F031HA57 , 5F031HA59 , 5F031JA04 , 5F031JA40 , 5F031KA11 , 5F031MA33 , 5F046BA03 , 5F046CC01 , 5F046EA04 , 5F046FB01

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-301547
ステ-ジ回転を補償するために極座標ステ-ジ及び連続画像回転を用いる装置及びその装置による測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-187361 出願人：ナノメトリックス・インコーポレイテッド
検査測定装置および測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-197968 出願人：株式会社ニコン

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