特許
J-GLOBAL ID：200903082612666530

圧電振動片および圧電デバイス

発明者：
山田 祥之

山田 祥之 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 岡▲崎▼ 信太郎 ,  新井 全
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-049031
公開番号（公開出願番号）：特開2006-238001
出願日： 2005年02月24日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】 CI値を抑え、かつ振動特性を悪化させることなく小型化が可能な圧電振動片と、このような圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供すること。【解決手段】 圧電材料により形成された基部51と、前記基部と一体に形成され、前記基部の一端側から互いに平行に延びる複数の振動腕35,36と、前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、前記長溝に形成した駆動用の電極とを備えており、前記各振動腕の幅寸法W1が、前記振動腕の前記基部51に対する付け根付近から先端側に向かって、徐々に縮幅する縮幅部71と、該縮幅部71の終端からさらに先端側に向かって腕幅に変化なく延びるストレート部72と、該ストレート部の終端であり、前記幅寸法が先端側に向かって徐々に増加する拡幅部73につながる幅変化の変更点Pとを有する圧電振動片である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧電材料により形成された基部と、 前記基部と一体に形成され、前記基部の一端側から互いに平行に延びる複数の振動腕と、 前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、 前記長溝に形成した駆動用の電極と を備えており、 前記各振動腕の幅寸法が、前記振動腕の前記基部に対する付け根付近から先端側に向かって、徐々に縮幅する縮幅部と、 該縮幅部の終端からさらに先端側に向かって腕幅に変化なく延びるストレート部と、 該ストレート部の終端であり、前記幅寸法が先端側に向かって徐々に増加する拡幅部につながる幅変化の変更点Pと を有することを特徴とする、圧電振動片。
IPC (5件)：
H03H 9/19 ,  G01C 19/56 ,  H03H 9/215 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18
FI (5件)：
H03H9/19 J ,  G01C19/56 ,  H03H9/215 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A
Fターム (16件)：
2F105BB03 ,  2F105BB04 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13 ,  5J108AA06 ,  5J108BB02 ,  5J108CC01 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108CC12 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108FF01
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (10件)
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