特許

J-GLOBAL ID：200903082925122469

多層膜反射鏡

発明者： 小宮 毅治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-028049
公開番号（公開出願番号）：特開2006-216783
出願日： 2005年02月03日
公開日（公表日）： 2006年08月17日
要約：

【課題】 露光に不必要であり、投影光学系を構成する反射鏡の熱膨張をもたらす励起光を、その手前で吸収することができる多層膜反射鏡を提供する。【解決手段】 石英からなる基板1の上に、励起光反射防止膜2が形成され、その上に露光光反射膜3が形成されている。短波長である露光光は、表面側に配置された露光光反射膜3により反射される。一方、長波長である励起光は、露光光反射膜3を透過し、励起光反射防止膜2に到達して吸収されるので、励起光の反射が小さく抑えられる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

励起光によって露光光を励起し、当該露光光によって露光を行う露光装置に用いられる多層膜反射鏡であって、前記露光光に対して斜入射角15°以下で50%以上の反射率を有すると共に、前記励起光に対して50%以下の反射率を有することを特徴とする多層膜反射膜。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/08 ,  G02B 5/26 ,  G21K 1/06 ,  G21K 5/02

FI (7件)：

H01L21/30 531A ,  G02B5/08 A ,  G02B5/26 ,  G21K1/06 A ,  G21K1/06 M ,  G21K5/02 X ,  H01L21/30 531S

Fターム (15件)：

2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DA16 ,  2H042DB02 ,  2H042DB06 ,  2H042DC02 ,  2H042DE00 ,  2H048FA05 ,  2H048FA12 ,  2H048FA18 ,  2H048FA22 ,  2H048FA24 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01 ,  5F046GC03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 照明装置、該照明装置を備えた露光装置および該露光装置を用いて半導体デバイスを製造する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-263673   出願人：株式会社ニコン
• X線照射装置及びX線発生位置検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-228890   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (3件)

• 露光装置用のミラー、露光装置用の反射型マスク、露光装置及びパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-278489   出願人：松下電器産業株式会社
• 光学要素、このような光学要素を含むリソグラフィ装置、デバイス製造方法およびそれによって製造したデバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-378882   出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ
• 照明装置とこれを有する露光装置や顕微鏡装置、ならびにデバイス生産方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-168707   出願人：キヤノン株式会社