特許
J-GLOBAL ID：200903083201262915

フォトレジストのためのパーフルオロアルキルスルフォン酸化合物

発明者：
ロレンス・フェレイラ

ロレンス・フェレイラ について

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アンドルー・ジェイ・ブレイクニー

アンドルー・ジェイ・ブレイクニー について

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グレゴニー・ドミニク・スパーツィアーノ

グレゴニー・ドミニク・スパーツィアーノ について

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オーグニアン・ディモフ

オーグニアン・ディモフ について

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トマス・ジェイ・コウカーブ

トマス・ジェイ・コウカーブ について

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ジョン・ピー・ハットフィールド

ジョン・ピー・ハットフィールド について


出願人/特許権者：
アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド

アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 高木 千嘉 ,  西村 公佑 ,  杉本 博司
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-579891
公開番号（公開出願番号）：特表2004-519520
出願日： 2002年04月05日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
一般構造:R-O(CF2)nSO3X(式中、nは約1〜4の整数であり;Rは置換されたもしくは非置換のC1〜C12の線状もしくは分枝状のアルキルまたはアルケニル、置換されたまたは非置換のアルアルキル、置換されたまたは非置換のアリール、置換されたまたは非置換のビシクロアルキル、置換されたまたは非置換のトリシクロアルキル、水素、アルキルスルホン酸、置換されたまたは非置換のパーフルオロアルキル、pが約1〜4であり、mが約0〜3でありまたqが約1〜4である場合の一般構造F((CF2)pO)m(CF2)q-、および置換されたまたは非置換の部分的にフッ素化されたアルキル、ハロフルオロアルキル、パーフルオロアルキルスルホニック、またはグリシジルからなる群から選択され;そしてXは有機陽イオンおよび共有結合した有機基からなる群から選択される)を有するフォトアシッド化合物。
請求項（抜粋）：
一般構造 R-O(CF2)nSO3X (式中、nは約1〜4の整数であり、Rは置換されたもしくは非置換のC1〜C12の線状もしくは分枝状のアルキルまたはアルケニル、置換されたまたは非置換のアルアルキル、置換されたまたは非置換のアリール、置換されたまたは非置換のビシクロアルキル、置換されたまたは非置換のトリシクロアルキル、水素、アルキルスルホン酸、置換されたまたは非置換のパーフルオロアルキル、pが約1〜4であり、mが約0〜3でありまたqが約1〜4である場合の一般構造F((CF2)pO)m(CF2)q-、および置換されたまたは非置換の部分的にフッ素化されたアルキル、ハロフルオロアルキル、パーフルオロアルキルスルホニック、またはグリシジルからなる群から選択され、そしてXは有機陽イオンおよび共有結合した有機基からなる群から選択される) を有するフォトアシッド化合物。
IPC (7件)：
C07C309/10 ,  C07C321/28 ,  C07C323/20 ,  C07D207/40 ,  C07D209/94 ,  C07D333/46 ,  G03F7/004
FI (7件)：
C07C309/10 ,  C07C321/28 ,  C07C323/20 ,  C07D207/40 ,  C07D209/94 ,  C07D333/46 ,  G03F7/004 503A
Fターム (23件)：
2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4C069AC30 ,  4C069BB05 ,  4C069BB08 ,  4C069BC10 ,  4C069BC12 ,  4C204BB05 ,  4C204CB23 ,  4C204DB16 ,  4C204EB03 ,  4C204FB33 ,  4C204GB01 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB76
引用特許：
審査官引用 (7件)
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