特許
J-GLOBAL ID：200903083245118145
シリコン針およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
皿田 秀夫
, 米田 潤三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-008898
公開番号（公開出願番号）：特開2005-198865
出願日： 2004年01月16日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】 生産性が良好で、アスペクト比が大きく針群の配設密度を高くとること(すなわち、高密度での針群の形成)が可能で、穿刺性に優れたシリコン針およびその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明のシリコン針は、基体の上に形成された複数の針状体を備え、複数の針状体は、先端に向かって連続的に漸減した外径を備える針本体を備えてなるように構成される。また、本発明のシリコン針の製造方法は、マスクを設けた後、方性エッチングを施した後、側面に堆積した堆積層を除去し、さらに等方性エッチングを施すように構成される。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基体の上に立設、かつ一体的に形成された複数の針状体を備えるシリコン針であって、
前記複数の針状体の単位平方ミリ当たりの配設密度は、20〜70個/mm2であり、
前記複数の針状体は、先端に向かって連続的に漸減した外径を備える針本体を備えてなることを特徴とするシリコン針。
IPC (2件)：
FI (3件)：
A61M37/00
, A61M5/14 369D
, A61M5/14 369B
4C066BB01
, 4C066FF03
, 4C066KK02
, 4C066KK03
, 4C066KK04
, 4C066KK05
, 4C167AA71
, 4C167BB02
, 4C167BB39
, 4C167BB40
, 4C167CC01
, 4C167DD10
, 4C167GG03
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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