固体撮像素子の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：芝野正雅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-084407
公開番号（公開出願番号）：特開2002-290842
出願日： 2001年03月23日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：

【要約】【課題】光学レンズとの相対的な位置精度の各固体撮像素子毎のばらつきを低減する。【解決手段】複数のイメージセンサ32がアレイ状に形成されるウェハ31の一主面上に、複数の光学レンズ34を有するレンズアレイ33を接着する。このとき、互いの合わせマークA、Bが一致するように接着され、これにより、各光学レンズ34が各イメージセンサ32の受光領域に対応する。レンズアレイ33が接着されたウェハ31を、イメージセンサ32の配列に合わせて分割し、各固体撮像素子を形成する。

請求項（抜粋）：

複数の受光画素が配列された受光領域に被写体映像を受けて情報電荷を蓄積する固体撮像素子の製造方法において、基板の一主面上に複数の前記受光領域を形成する第1の工程と、被写体映像を前記受光領域に結像する光学レンズが前記基板上に形成される前記複数の受光領域の配列に対応して複数形成されるレンズアレイを、前記基板の一主面上に接着する第2の工程と、前記レンズアレイが接着された前記基板を前記複数の受光領域の配列に合わせて分割する第3の工程と、を備えたことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。

IPC (4件)：

H04N 5/335 , G02B 3/00 , G02B 7/02 , H01L 27/14

FI (5件)：

H04N 5/335 V , G02B 3/00 A , G02B 7/02 A , G02B 7/02 B , H01L 27/14 D

Fターム (18件)：

2H044AA02 , 2H044AA20 , 2H044AB02 , 2H044AB18 , 2H044AB24 , 4M118AA06 , 4M118AB01 , 4M118BA12 , 4M118FA06 , 4M118GD03 , 4M118GD07 , 4M118HA03 , 4M118HA31 , 4M118HA40 , 5C024AX01 , 5C024CY47 , 5C024CY49 , 5C024EX42

引用特許：

審査官引用 (6件)

撮像モジュール及び該撮像モジュールの製造方法、デジタルカメラ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-048222 出願人：キヤノン株式会社
特開昭58-102554
特開昭63-062267

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