パーフルオロ化合物ガスの分離回収装置

発明者： , , , , , , , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-165873
公開番号（公開出願番号）：特開2002-363114
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】【課題】パーフルオロ化合物ガスをより効率よく分離回収することができる分離回収装置を提供する。【解決手段】ガス混合物中のパーフルオロ化合物ガスを分離する第1ないし第3膜分離手段2〜4と、膜分離手段3、4からの透過ガスを第1膜分離手段2の上流側に送る透過ガス返送経路5と、第1膜分離手段2からの透過ガス中のパーフルオロ化合物ガスを分離する透過ガス膜分離手段6と、この膜分離手段6からの非透過ガスを第1膜分離手段2の上流側に送る非透過ガス返送経路7とを備えている。

請求項（抜粋）：

パーフルオロ化合物ガスを含むガス混合物中のパーフルオロ化合物ガスを非透過成分として分離する第1膜分離手段と、この膜分離手段を経た非透過ガス中のパーフルオロ化合物ガスを非透過成分として分離する第2膜分離手段と、第1膜分離手段からの透過ガス中のパーフルオロ化合物ガスを非透過成分として分離する透過ガス膜分離手段と、この膜分離手段からの非透過ガスを第1膜分離手段の上流側に送る非透過ガス返送経路とを備えていることを特徴とするパーフルオロ化合物ガスの分離回収装置。

IPC (4件)：

C07C 17/38 , B01D 53/22 , B01D 61/58 , C07C 19/08

FI (4件)：

C07C 17/38 , B01D 53/22 , B01D 61/58 , C07C 19/08

Fターム (32件)：

4D006GA41 , 4D006HA01 , 4D006HA18 , 4D006HA19 , 4D006HA21 , 4D006HA61 , 4D006JA52A , 4D006JA58A , 4D006KA12 , 4D006KA52 , 4D006KA53 , 4D006KA56 , 4D006KA68 , 4D006MA01 , 4D006MA02 , 4D006MA03 , 4D006MC05 , 4D006MC11 , 4D006MC22 , 4D006MC33 , 4D006MC58 , 4D006MC62 , 4D006NA50 , 4D006PA03 , 4D006PB19 , 4D006PB70 , 4D006PC01 , 4H006AA02 , 4H006AD19 , 4H006BD82 , 4H006BD84 , 4H006EA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

膜と吸着を連続して用いる半導体製造における排ガスからのフッ素化合物の分離方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-144534 出願人：エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド
膜によるフルオロケミカルの分離回収方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-298809 出願人：エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド
パーフルオロ化合物ガスの分離および回収方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-187877 出願人：レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード

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