特許
J-GLOBAL ID：200903084024502940
マスク位置決め用の方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-116320
公開番号（公開出願番号）：特開2006-302896
出願日： 2006年04月20日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】真空中で塗膜される基板上でマスクを容易に配設、除去および位置決めするためのプロセス」および装置を提供する。【解決手段】基板キャリア(2)上に基板(3)を供給し、第1の移動装置によっていくつかの座標内で移動可能な保持部材(8)上の電磁石(7)によってマスク(6)を保持し、マスク(6)と基板(3)の、特に横方向の相互の位置を検出し、マスク(6)を基板とほぼ平行に移動するように互いに位置調整し、第1の移動装置によって保持部材(8)をマスクがほぼ基板に垂直に移動するように移動させ、かつ/または第2の移動装置、特に持ち上げ装置によって基板キャリア(2)をマスク(6)方向に移動させることによってマスクを基板に密着させ、電磁石(7)を不作動化し、基板キャリアの磁石(4)によって基板(3)上のマスク(6)を保持することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
塗膜処理される基板上でマスクを配設/取り除き、位置合わせする方法、特にスクリーンやディスプレー等のような大面積を持った基板上に有機エレクトロルミネッセンス物質(OLED)を微細構造化するための、塗膜される基板が真空塗膜チャンバーに移動することを伴う方法において、
基板受け入れ領域の周縁に磁石(4)が後側面に設けられた基板キャリア(2)上に基板(3)を供給し、第1の移動装置によっていくつかの座標内で移動可能な保持機構(8)上の電磁石(7)によってマスク(6)を保持し、マスク(6)と基板(3)の相互の位置を検出し、基板(3)とマスク(6)を互いに位置調整し、すなわち、位置の違いが明確になった場合に該マスク(6)を該基板に対して移動させるように第1の移動装置を作動させ、該第1の移動装置によって該保持機構(8)を該マスクがほぼ該基板に垂直に移動するように移動させ、かつ/または第2の移動装置の移動によって該基板キャリア(2)を該マスク方向に移動させることによって該マスクを該基板に付着させ、該電磁石(7)を不作動化し、該基板キャリアの該磁石(4)によって該基板(3)上の該マスク(6)を保持することを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107GG04
, 3K107GG31
, 3K107GG33
, 3K107GG54
, 4K029AA24
, 4K029HA04
