特許

J-GLOBAL ID：200903084035405423

感光性シロキサン組成物、それから形成された硬化膜、および硬化膜を有する素子

発明者： 飯森 弘和 ,  妹尾 将秀 ,  諏訪 充史
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-141439
公開番号（公開出願番号）：特開2008-009406
出願日： 2007年05月29日
公開日（公表日）： 2008年01月17日
要約：

【課題】熱硬化後の透明性に優れ、アルカリ溶剤に含浸後のクラック発生が抑えられ、基板との接着性に優れる硬化膜を得ることができる感光性シロキサン組成物を提供する。【解決手段】(a)ポリシロキサン(b)キノンジアジド化合物、(c)溶剤、(d)ビスイミド化合物または側鎖にイミド基を有するアクリル重合体化合物からなる接着促進剤を含有する感光性シロキサン組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(a)ポリシロキサン(b)キノンジアジド化合物、(c)溶剤、(d)一般式(1)で表される化合物または下記一般式(2)で表される繰り返し単位を少なくとも1つ有するアクリル重合体化合物からなる感光性シロキサン組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/085 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/075 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F7/085 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/023 ,  G03F7/075 521 ,  G03F7/075 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (18件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB14 ,  2H025CB33 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025CC06 ,  2H025CC08 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特許第2933879号公報(請求項1)
  
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-162359   出願人：東レ株式会社
• 厚膜用ネガ型ホトレジスト組成物、ホトレジスト膜およびこれを用いたバンプ形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-110282   出願人：東京応化工業株式会社
• 感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびマイクロレンズ、ならびにそれらの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-282830   出願人：JSR株式会社
• 樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-153986   出願人：三井東圧化学株式会社

審査官引用 (3件)

• 液状硬化性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-077133   出願人：ジェイエスアール株式会社, 日本特殊コーティング株式会社
• 樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-149391   出願人：三井東圧化学株式会社
• 感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-162359   出願人：東レ株式会社