特許
J-GLOBAL ID：200903084120936594

電子線を用いるX線分析装置

発明者：
奥 村 豊 彦

奥 村 豊 彦 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-237589
公開番号（公開出願番号）：特開2006-058033
出願日： 2004年08月17日
公開日（公表日）： 2006年03月02日
要約：
【課題】 分析中や分析後でも、分析結果の信頼性を損なう試料の帯電が生じていることを簡単に知ることができる電子プローブX線分析装置を提供する。【解決手段】 試料に帯電が生ずると、照射電流値Ipに対する試料吸収電流値Iaの割合が急激に低下する現象を利用して帯電の有無を判定する。図の照射電流検出器18によって分析開始前に照射電流値Ipが検出され、分析中は試料11から取り出される試料吸収電流Iaを電流測定回路19で測定する。制御/演算装置14は照射電流値Ipに対する試料吸収電流値Iaの割合Ia/Ipを求め、データベース15の予め定めておいた帯電の判定条件データと比較して帯電の有無を監視する。帯電が生じていると判定した場合、分析経過中に表示装置16に表示し再測定を促したり、分析終了後に分析結果とともに帯電の有無の判定結果を表示したりすることにより、信頼性の高い分析結果を得ることができる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
試料に電子線を照射して発生する特性X線を検出しX線強度を計測する手段と、試料に照射される照射電流値を計測する手段と、前記X線強度の計測中に試料の吸収電流値を測定する手段とを備える電子プローブX線分析装置において、分析により得られる組成情報から当該試料の平均原子番号を求める手段と、求められた平均原子番号に基づいて吸収電流値/照射電流値のしきい値を出力するしきい値設定手段と、出力されたしきい値を分析の際に前記照射電流値計測手段及び吸収電流値測定手段により求めた吸収電流値/照射電流値と比較し、帯電の有無を判定する判定手段を備えた電子プローブX線分析装置。
IPC (1件)：
G01N 23/225
FI (1件)：
G01N23/225
Fターム (32件)：
2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001BA11 ,  2G001BA15 ,  2G001BA30 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001CA10 ,  2G001FA01 ,  2G001FA02 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  2G001GA04 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001GA11 ,  2G001HA09 ,  2G001HA13 ,  2G001JA01 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA06 ,  2G001JA07 ,  2G001JA11 ,  2G001JA16 ,  2G001KA01 ,  2G001NA20 ,  2G001PA11 ,  2G001QA01 ,  2G001RA08 ,  2G001SA29
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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