容量式湿度センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：矢作和行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-010957
公開番号（公開出願番号）：特開2005-201872
出願日： 2004年01月19日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：

【課題】感度のばらつきが低減され、且つ、応答性が向上された容量式湿度センサを提供すること。【解決手段】半導体基板10と、当該半導体基板10上の同一平面に離間して対向配置された一対の電極31,32と、両電極31,32及び両電極31,32間を覆うように半導体基板10上に形成され、湿度に応じて誘電率が変化するポリイミド系ポリマーからなる感湿膜50とにより構成される容量式湿度センサ100において、膜厚が3μm以上8μm以下となるように感湿膜50を形成した。これにより、感度のばらつきを±5%以下とすることができ、応答性を30s以下とすることができた。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上の同一平面に離間して対向配置された一対の電極と、前記一対の電極及び前記一対の電極間を覆うように前記基板上に形成され、湿度に応じて誘電率が変化するポリイミド系感湿膜とを備える容量式湿度センサにおいて、前記ポリイミド系感湿膜の膜厚が3μm以上8μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の容量式湿度センサ。

IPC (1件)：

G01N27/22

FI (1件)：

G01N27/22 A

Fターム (9件)：

2G060AA01 , 2G060AB02 , 2G060AE19 , 2G060AF10 , 2G060AG06 , 2G060AG08 , 2G060AG10 , 2G060BA09 , 2G060BB10

引用特許：

出願人引用 (1件)

容量式湿度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-353606 出願人：株式会社デンソー

審査官引用 (9件)

容量式湿度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-078136 出願人：株式会社デンソー
容量式湿度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-353606 出願人：株式会社デンソー
静電容量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-132479 出願人：株式会社山武

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