特許
J-GLOBAL ID：200903084280672666
自己検知型SPMプロ-ブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-177337
公開番号（公開出願番号）：特開2000-111563
出願日： 1999年06月23日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：
【要約】【課題】 カンチレバーの撓み量および捩れ量をより正確に検出することのできる自己検知型SPMプローブを提供する。【解決手段】 先端に探針12を設けたレバー部とそのレバー部を支持する支持部とが2つの屈曲部によって連結されて構成されるカンチレバーにおいて、その屈曲部上にピエゾ抵抗体22,24を前記レバー部から前記支持部に向かう方向に直線状に設けた。よって、屈曲部をピエゾ抵抗体形成領域として有効に利用でき、さらにはその領域を細く形成することが可能となるので、2つのピエゾ抵抗体間において、カンチレバーの捩れにより生じる両屈曲部の変位差を示す抵抗値差を顕著にかつ正確に読み出すことができる。
請求項（抜粋）：
先鋭化された探針を先端に設けたレバー部と、該レバー部を支持する支持部と、前記レバー部と前記支持部とを連結する屈曲部とからカンチレバーを構成し、このカンチレバー上にピエゾ抵抗体を設けた自己検知型SPMプローブにおいて、前記ピエゾ抵抗体は、直線状に独立して形成されることを特徴とする自己検知型SPMプローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
