特許
J-GLOBAL ID：200903035735673649

集積型SPMセンサ

発明者：
高山 美知雄

高山 美知雄 について


出願人/特許権者：
オリンパス光学工業株式会社

オリンパス光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-288578
公開番号（公開出願番号）：特開平8-129015
出願日： 1994年10月31日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】 センサを集積化したカンチレバーのねじれや反りの発生を防止し、良好なSPM測定を可能にした集積型SPMセンサを提供する。【構成】 カンチレバー部1と、支持部2と、カンチレバー部1の自由端に設けられた探針3と、探針3の近傍に設けたセンサ用の第1及び第2のコンタクトホール4,5と、センサ用の第1及び第2の配線6,7とボンディングパッド部8,9とを備え、第1及び第2のコンタクトホール4,5並びに第1及び第2の配線6,7を、カンチレバー部1の自由端中心から支持部2に向かって伸びる中心線10に対して対称になるように配設して集積型SPMセンサを構成する。
請求項（抜粋）：
支持部より伸びたカンチレバー上にセンサを設けた集積型SPMセンサにおいて、前記センサへの電源供給及び信号検出用配線をカンチレバー自由端中心から支持部に向かって伸びる中心線に対して対称に配設したことを特徴とする集積型SPMセンサ。
IPC (3件)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28
引用特許：
審査官引用 (9件)
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