多関節ロボット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-299111
公開番号（公開出願番号）：特開2008-155361
出願日： 2007年11月19日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。【解決手段】搬送物を載置するハンド部(8)と、前記ハンド部(8)と連結され、少なくとも2つ以上の回転関節(3)、(4)、(5)を備え、前記ハンド部(8)を1方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム(1)と、前記多関節アーム(1)と上下に移動する移動機構(11)とを連結する支持部材(10)と、前記移動機構(11)に備えられた旋回機能を有する台座(13)とからなる多関節ロボット(1)において、前記移動機構(11)は、前記ハンド部(8)の移動方向と同方向にコラム(12)が配置され、前記移動機構(11)に配置された支持部材(10)は、前記ハンド部(8)の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム(2)と連結されたものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

搬送物を載置するハンド部と、前記ハンド部と連結され、少なくとも2つ以上の回転関節を備え、前記ハンド部をワークの取り出しおよび供給方向に直線移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アームと、前記多関節アームと上下に移動するコラムに取り付けられた移動機構とを連結する支持部材と、前記移動機構に備えられた旋回機能を有する台座とからなる多関節ロボットにおいて、前記コラムは、複数個のブロックが連結された構造にしたことを特徴とする多関節ロボット。

IPC (3件)：

B25J 9/06 , B25J 9/04 , H01L 21/677

FI (3件)：

B25J9/06 D , B25J9/04 B , H01L21/68 A

Fターム (23件)：

3C007AS03 , 3C007BS06 , 3C007BS15 , 3C007BS26 , 3C007BT11 , 3C007CT04 , 3C007CT05 , 3C007CV07 , 3C007CW07 , 3C007CY27 , 3C007HS27 , 3C007HT02 , 3C007NS12 , 5F031CA05 , 5F031DA17 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031GA03 , 5F031GA45 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA50

引用特許：

出願人引用 (4件)

ダブルアーム型ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-082983 出願人：株式会社三協精機製作所
プログラム可能な材料
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-522778 出願人：マイケルジョゼフ
搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-061041 出願人：株式会社ラインワークス

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審査官引用 (4件)

ダブルアーム型ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-082983 出願人：株式会社三協精機製作所
プログラム可能な材料
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-522778 出願人：マイケルジョゼフ
搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-061041 出願人：株式会社ラインワークス

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