特許

J-GLOBAL ID：200903084337197986

耐蝕性溶射膜部材

発明者： 阿部 昌則 ,  高橋 小弥太
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-287476
公開番号（公開出願番号）：特開2006-097114
出願日： 2004年09月30日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：

【課題】CVD装置、プラズマ処理装置等に用いる部材は腐食性ガスとの反応、或いはプラズマによるエッチングにより消耗し、パーティクル発生による製品の汚染、歩留まり生産性低下の問題があった。また腐蝕性ガス、プラズマに耐性のあるガラスは高価であった。【解決手段】Si、O及び3a族元素とZr及び/又はTiとから構成された溶射膜からなる耐蝕性部材は、腐蝕性ガス及びプラズマに対する耐蝕性と耐熱強度が高く、パーティクルの発生が少なく、このような耐蝕性部材は、例えば、シリカ粉末及び3a族酸化物粉末と、ジルコニア及び/又はチタニア粉末との混合粉末を基材に対して溶射することによって製造することができる。【選択図】選択図なし

請求項（抜粋）：

フッ素プラズマ、塩素プラズマ又は腐食性ガスに曝される部位が少なくともSi、O及び3a族元素と、Zr及び/又はTiとから構成される材料の溶射膜であることを特徴とする耐蝕性部材。

IPC (4件)：

C23C 4/10 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/306

FI (4件)：

C23C4/10 ,  C23C16/44 J ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 101G

Fターム (22件)：

4K030DA06 ,  4K030KA47 ,  4K031AA08 ,  4K031AB09 ,  4K031BA01 ,  4K031BA07 ,  4K031CB03 ,  4K031CB09 ,  4K031CB12 ,  4K031CB42 ,  4K031CB48 ,  4K031DA04 ,  4K031EA01 ,  4K031EA10 ,  5F004AA13 ,  5F004AA16 ,  5F004BB29 ,  5F045AA08 ,  5F045BB15 ,  5F045EC05 ,  5F045EF11 ,  5F045EM09

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 熱処理装置及びその洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-173542   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 成膜装置およびそのクリーニング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-050953   出願人：東京エレクトロン株式会社
• プラズマCVD処理装置のドライクリーニング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-028574   出願人：富士電機株式会社
• 耐プラズマ部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-086300   出願人：京セラ株式会社