特許
J-GLOBAL ID:200903084355029136

液滴吐出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-256166
公開番号(公開出願番号):特開2007-160926
出願日: 2006年09月21日
公開日(公表日): 2007年06月28日
要約:
【課題】液滴吐出ヘッドに供給する液状体の安定供給を図り、液滴からなるパターンの生産性を向上させた液滴吐出装置を提供する。【解決手段】水頭差圧を利用して液状体Fを供給する液状体タンクと、同液状体タンクから供給される液状体Fの供給圧力を制御する自己封止弁33の双方を、吐出ヘッドとともにスカラロボットに搭載し、これらを走査方向J(XY平面方向)に沿って走査させるようにした。そして、自己封止弁33の弁体41の軸部41bを、弁体収容室37Sと受圧室39Sとの間の連通孔37aに挿通し、弁体41を上下方向にのみ移動可能にするとともに、弁体41を変位させる加速度の方向が、ヘッドユニットの加速度の方向と垂直になるように自己封止弁33を配置した。【選択図】図6
請求項(抜粋):
対象物に液滴を吐出する液滴吐出ユニットと、 前記液滴吐出ユニットを搭載し、前記液滴吐出ユニットを前記対象物の上方で2次元方向に移動させる多関節ロボットと、を備えた液滴吐出装置であって、 前記液滴吐出ユニットは、 前記液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、 前記液滴吐出ヘッド内の液状体よりも上方に液状体を収容する液状体タンクと、 前記液滴吐出ヘッドと前記液状体タンクとの間に配設されて、前記液滴吐出ヘッドに供給する液状体の圧力を所定の圧力に制御する自己封止弁と、を備え、 前記自己封止弁は、 前記液滴吐出ヘッド側の液状体の圧力と前記液状体タンク側の液状体の圧力との間の差圧に応じて閉弁位置と開弁位置との間を移動する弁体を有し、 前記閉弁位置の前記弁体を前記開弁位置に移動させる加速度の方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度の方向と異なる位置に前記弁体を配設したことを特徴とする液滴吐出装置。
IPC (3件):
B41J 2/01 ,  B05C 5/00 ,  B05C 11/10
FI (3件):
B41J3/04 101Z ,  B05C5/00 101 ,  B05C11/10
Fターム (22件):
2C056EA13 ,  2C056EA26 ,  2C056EB07 ,  2C056EB20 ,  2C056EB34 ,  2C056EC18 ,  2C056EC28 ,  2C056EC35 ,  2C056FA15 ,  2C056FB01 ,  2C056HA44 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA12 ,  4F041BA35 ,  4F042AA06 ,  4F042BA07 ,  4F042BA08 ,  4F042BA12 ,  4F042CA01 ,  4F042CB08 ,  4F042CB10
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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