加速度センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：有我軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-243487
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066317
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】比較的構造が簡単であり、低価格で、高い性能を有する優れた加速度センサを提供することを目的とする。【解決手段】圧電素子材からなり、中心孔33cと、所定の厚さと、2つの平面33aおよび33bと、を有するシート状の少なくとも1枚の圧電素子33と、圧電素子33の一方の平面33a上に部分的に延在するように形成された電極35bと、所定の厚さと、実質的に水平な2つの平面37aおよび37bと、を有し、この平面の少なくとも1方の面37a上に圧電素子33の他方の平面33bを接着剤により接着した導電性部材からなる振動板37と、振動板37の中心部で振動板37を支持する支持部11aと、を備えた加速度センサ31において、圧電素子33が、一方の平面33aに実質的に平行な方向で、かつ中心から外周方向または外周から中心方向に分極する。

請求項（抜粋）：

圧電素子材からなり、所定の厚さと、2つの平面と、を有するシート状の少なくとも1枚の加速度検出素子と、前記加速度検出素子の一方の平面上に部分的に延在するように形成された電極と、所定の厚さと、実質的に水平な2つの平面と、を有し、この平面の少なくとも1方の面上に前記加速度検出素子の他方の平面を接着剤により接着した導電性部材からなる振動板と、この振動板を振動可能に支持する支持部と、を備えた加速度センサにおいて、前記加速度検出素子が、前記一方の平面に実質的に平行な方向に分極していることを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/09 , H01L 41/08

FI (2件)：

G01P 15/09 , H01L 41/08 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-020862 出願人：松下電器産業株式会社
加速度センサおよび加速度センサにおける電極接続方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-324530 出願人：松下電器産業株式会社
特開昭60-071909

全件表示

前のページに戻る