特許
J-GLOBAL ID：200903084425553210

プレーナ型電磁アクチュエータ及びその製造方法

発明者：
鳥海 和宏

鳥海 和宏 について


出願人/特許権者：
ミヨタ株式会社

ミヨタ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-054814
公開番号（公開出願番号）：特開2004-264603
出願日： 2003年02月28日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：
【課題】可動部周縁部にコイル部を有し、中央部にミラー部を有する構成のプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、新たに応力膜を形成する事無く、コイル部で発生した応力により生じるミラー部の反りを抑制する。【解決手段】ミラー部の表裏両面側ミラー形成部に、共に引張応力を持つミラー堆積膜をそれぞれ形成すると共に、裏面側のミラー堆積膜を表面側のミラー堆積膜よりも厚く堆積する。若しくは、前記ミラー堆積膜を共に圧縮応力を持つようにすると共に、表面側のミラー堆積膜を裏面側のミラー堆積膜よりも厚く堆積する事により、コイル部で発生した応力をミラー堆積膜自体の応力で打ち消す構成とする。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
可動部と該可動部を基板に対し揺動可能に軸支するトーションバーとを備え、前記可動部中央部にミラー部を設け、前記可動部周縁部に駆動用コイル部を設け、前記可動部に駆動力を作用させて駆動させる構成のプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、前記ミラー部の表裏両面側ミラー形成部に、前記コイル部で発生したミラー部変形要因を抑制する応力を持つミラー堆積膜を、少なくともどちらか一方の膜厚を調整し、形成した事を特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。
IPC (1件)：
G02B26/10
FI (1件)：
G02B26/10 104Z
Fターム (2件)：
2H045AB16 ,  2H045AB73
引用特許：
審査官引用 (4件)
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