特許
J-GLOBAL ID：200903084573670331

位置決め装置

発明者：
伊藤 博仁

伊藤 博仁 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-133535
公開番号（公開出願番号）：特開2004-334790
出願日： 2003年05月12日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：
【課題】可動体を目標方向に駆動する際に該可動体に作用しうる他の方向の力を低減する。【解決手段】可動体をX方向に位置決めするためのX1、X2電磁石(第1アクチュエータ)を駆動する電流アンプ534Xを含む系と、該可動体をY方向に位置決めするためのY1、Y2電磁石(第2アクチュエータ)を駆動する電流アンプ534Yを含む系と、該可動体を第1アクチュエータによってX方向に駆動する際に該可動体に作用するY方向の力を低減する従方向成分補正部601Xと、該可動体を第2アクチュエータによってY方向に駆動する際に該可動体に作用するX方向の力を低減する従方向成分補正部601Yとを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
可動体を位置決めする位置決め装置であって、 前記可動体を駆動する複数のアクチュエータと、 前記複数のアクチュエータを制御する制御系とを備え、 前記複数のアクチュエータは、前記可動体を第1方向に駆動する第1アクチュエータと、前記可動体を第2方向に駆動する第2アクチュエータとを含み、 前記制御系は、前記第1アクチュエータによって前記可動体を前記第1方向に駆動する際に前記可動体に作用する前記第2方向の力を低減するように前記第2アクチュエータを制御することを特徴とする位置決め装置。
IPC (4件)：
G05D3/12 ,  B23Q15/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68
FI (4件)：
G05D3/12 305Z ,  B23Q15/00 C ,  H01L21/68 K ,  H01L21/30 503A
Fターム (32件)：
5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06 ,  5F046CC08 ,  5F046CC13 ,  5F046CC17 ,  5H303AA04 ,  5H303BB02 ,  5H303BB07 ,  5H303BB11 ,  5H303CC04 ,  5H303DD04 ,  5H303EE03 ,  5H303FF03 ,  5H303HH01 ,  5H303KK01 ,  5H303LL02 ,  5H303MM05
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM