特許
J-GLOBAL ID：200903084686807074
3次元測定装置及び検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大山 健次郎
, 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-155817
公開番号（公開出願番号）：特開2008-309532
出願日： 2007年06月13日
公開日（公表日）： 2008年12月25日
要約：
【課題】高速で試料表面を検査することができる3次元測定装置及び検査装置を実現する。【解決手段】本発明による3次元測定装置は、光源装置(1,2,3)からライン状の照明ビームを発生する。照明光学系(4,5)を介して試料表面(6)を走査する。試料から出射したライン状の反射ビームは、結像光学系(8,9)を介してその結像面上にスリット像を形成する。結像光学系の結像面に、2個のラインセンサ(10,11)により構成される光検出手段を配置する。光検出手段からの出力信号に基づいて試料表面の高さ方向の変位情報及び試料表面の2次元画像情報を出力する信号処理回路とを具える。信号処理回路は、2つのラインセンサの対応する受光素子の出力信号間の差分信号を出力する手段(33)及び加算信号を出力する手段(34)を有し、差分信号に基づいて試料表面の高さ方向の変位情報を出力し、前記加算信号に基づいて試料表面の2次元画像情報を出力する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ライン状の照明ビームを発生する光源装置と、
光源装置から出射したライン状照明ビームを、試料表面に対して斜めに投射する照明光学系と、
試料表面から出射した反射光を集光して結像面上に結像する結像光学系と、
前記結像光学系の結像面に配置され、試料表面から出射したライン状の反射ビームを受光する光検出手段と、
前記試料を支持すると共に当該試料をライン状照明ビームの延在方向と直交する方向に移動させるステージと、
光検出手段からの出力信号に基づいて試料表面の高さ方向の変位情報及び試料表面の2次元画像情報を出力する信号処理回路とを具え、
前記光検出手段は、前記ライン状照明ビームの延在方向に沿って配列された複数の受光素子を有する第1及び第2のラインセンサにより構成され、
前記信号処理回路は、2つのラインセンサの対応する受光素子の出力信号間の差分信号を出力する手段及び加算信号を出力する手段を有し、差分信号に基づいて試料表面の高さ方向の変位情報を出力し、前記加算信号に基づいて試料表面の2次元画像情報を出力することを特徴とする3次元測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (22件)：
2F065AA03
, 2F065AA24
, 2F065AA25
, 2F065AA53
, 2F065CC19
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065GG02
, 2F065GG03
, 2F065GG04
, 2F065HH05
, 2F065HH12
, 2F065JJ02
, 2F065JJ05
, 2F065JJ18
, 2F065LL28
, 2F065LL46
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065QQ13
, 2F065QQ38
, 2F065RR08
出願人引用 (1件)
審査官引用 (42件)
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