特許
J-GLOBAL ID：200903084827168895

基板検査装置

発明者：
木下 斉

木下 斉 について


出願人/特許権者：
オリンパス光学工業株式会社

オリンパス光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-076717
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266638
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、装置の大型化を招くことなく、効率よく基板の表裏面検査を可能にした基板検査装置を提供する。【解決手段】第2の支持部16の駆動モータ16dを起動して支持軸16aを回転させ、この支持軸16aを中心に第1の支持部15を介してホルダ2を所定の角度まで立ち上げ傾斜させることで、被検査基板3表面についてマクロ観察およびミクロ観察を行ない、その後、再び第2の支持部16の駆動モータ16dを起動して支持軸16aを回転させ、この支持軸16aを中心にホルダ2をほぼ垂直状態まで立ち上げるとともに、第1の支持部15の駆動モータ15cを起動し、支持軸2aを介してホルダ2を回転させて被検査基板3の裏面を前方に向けることで、被検査基板3裏面についてもマクロ観察およびミクロ観察も行なう。
請求項（抜粋）：
被検査基板を保持する被検査基板保持手段と、この被検査基板保持手段を反転可能に支持する第1の支持手段と、この第1の支持手段を支持するとともに、該第1の支持手段を介して前記被検査基板保持手段を起倒自在に支持する第2の支持手段とを具備したことを特徴とする基板検査装置。
IPC (2件)：
G01M 11/00 ,  G01N 21/88
FI (2件)：
G01M 11/00 T ,  G01N 21/88 650
Fターム (16件)：
2G051AA73 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AC22 ,  2G051BA01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051BB19 ,  2G051BC06 ,  2G051CA04 ,  2G051CA11 ,  2G051CB05 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G086EE10 ,  2G086EE12
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM