特許
J-GLOBAL ID:200903084835978456
非球面コリメートミラーおよび非球面コリメートミラーの調整方法
発明者:
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大坪 隆司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-188239
公開番号(公開出願番号):特開2006-011051
出願日: 2004年06月25日
公開日(公表日): 2006年01月12日
要約:
【課題】 簡易な作業により非球面コリメートミラーを理想的な放物面に加工することが可能な非球面コリメートミラーおよび非球面コリメートミラーの調整方法を提供することを目的とする。【解決手段】 非球面コリメートミラー1は、ベース部材11と、可撓性を有するミラー部材12と、点対称に配置された13個の支持部材13とを備える。ベース部材11とミラー部材12とは、支持部材13により連結されている。ここで、ミラー部材12は、そこに応力を付与しない状態においては球面形状を有する、通常の球面ミラーが使用される。この非球面コリメートミラー1においては、点対称に配置された13個の支持部材13の各々について、ベース部材11に固定された第1固定部とミラー部材12の裏面に固定された第2固定部との間隔を変更することにより、ミラー部材12の形状を任意に変更することが可能となる。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
ベース部材と、
可撓性を有するミラー部材と、
前記ベース部材に固定された第1固定部と、前記ミラー部材の裏面に固定された第2固定部と、前記第1固定部と前記第2固定部との間隔を変更可能な状態で前記第1固定部と前記第2固定部とを連結する連結部とを備えた複数の支持部材と、
を備えたことを特徴とする非球面コリメートミラー。
IPC (4件):
G02B 7/198
, G02B 5/10
, G03F 7/20
, H01L 21/027
FI (5件):
G02B7/18 B
, G02B5/10 B
, G03F7/20 501
, H01L21/30 515D
, H01L21/30 509
Fターム (20件):
2H042DD06
, 2H042DD14
, 2H042DE04
, 2H043BC02
, 2H097BB03
, 2H097CA12
, 2H097GA45
, 2H097JA01
, 2H097LA10
, 2H097LA11
, 5F046BA02
, 5F046CA02
, 5F046CB02
, 5F046CB13
, 5F046CB14
, 5F046DA01
, 5F046DA16
, 5F046DB05
, 5F046DB11
, 5F046DC02
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
露光装置の照明光学系
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-142341
出願人:株式会社トプコン
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る