銅配線および/またはフィルムを研磨および/または浄化する方法およびそのための組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次 , 永坂友康 , 西山雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-564827
公開番号（公開出願番号）：特表2006-514706
出願日： 2003年10月28日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：

本発明は、ビス(ペルフルオロアルカンスルホニル)イミド酸またはトリス(ペルフルオロアルカンスルホニル)メチド酸組成物を使用して、銅配線を研磨および/または浄化する方法を提供する。

請求項（抜粋）：

a)i)式、

IPC (4件)：

C09K 13/08 , H01L 21/306 , H01L 21/304 , B24B 37/00

FI (6件)：

C09K13/08 , H01L21/306 M , H01L21/304 647A , H01L21/304 622D , H01L21/304 622X , B24B37/00 H

Fターム (8件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CB01 , 3C058DA12 , 3C058DA17 , 5F043AA26 , 5F043BB18 , 5F043DD16

引用特許：

審査官引用 (5件)

極限環境にさらされる適用物用の界面活性剤/添加剤としてのビス(ペルフルオロアルカンスルホニル)イミドおよびその塩ならびにそのための方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-589126 出願人：スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー
化学的機械的研磨用スラリー
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-357795 出願人：日本電気株式会社, 東京磁気印刷株式会社
研磨液組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-122600 出願人：花王株式会社

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