特許
J-GLOBAL ID：200903084990276166

水晶片形成方法および水晶片

発明者：
村上 資郎

村上 資郎 について


出願人/特許権者：
東洋通信機株式会社

東洋通信機株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-363825
公開番号（公開出願番号）：特開2005-130218
出願日： 2003年10月23日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：
【課題】 バラつきなく安定した寸法形状であって、且つ、基板外縁部の割れ発生を低減しうる水晶基板(水晶片)を容易に得ることができる水晶片形成方法を提供する。【解決手段】 ATカットにて切り出した平板状の水晶ウェハ10からエッチングにより複数の水晶片1を得る水晶片形成方法において、前記複数の水晶片1のそれぞれを取り出すためのマスク膜を前記水晶ウェハ10における主平面形成しておく。そしてエッチング時間は、エッチング開始時から貫通するまでに要する時間“T”の1.5倍以上の時間をかけて行うようにする。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
所定のカットアングルにて切り出した平板状水晶母材から水晶片をエッチングにより形成する水晶片形成方法であって、 前記水晶片の外周に相当する部分に開口を有する保護膜を前記平板状水晶母材の表面に形成する工程と、 前記保護膜の開口部分より露出する前記平板状水晶母材にエッチングを施す工程とを少なくとも含み、 当該エッチング時間はエッチング開始時から貫通するまでに要する時間の1.5倍以上であること特徴とする水晶片形成方法。
IPC (3件)：
H03H3/02 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22
FI (3件)：
H03H3/02 B ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101A
Fターム (1件)：
5J108MM11
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
  • ATカット水晶の加工方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-254733   出願人：東洋通信機株式会社
  • 水晶振動子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-177653   出願人：東洋通信機株式会社
  • 圧電振動子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-042067   出願人：東洋通信機株式会社
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM