特許
J-GLOBAL ID：200903085082285190

現像装置および現像方法

発明者：
美作 昌宏

美作 昌宏 について

, 
吉井 弘至

吉井 弘至 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-107671
公開番号（公開出願番号）：特開平10-340836
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：
【要約】【課題】 低コストで均一な現像処理を行うことができる現像装置および現像方法を提供することである。【解決手段】 現像処理時に基板100を基板保持部1により静止状態で保持する。現像液吐出ノズル11をリンス液吐出ノズル12とともに基板100外の一方側の位置から基板100上を通過して基板100外の他方側の位置へ移動させつつ現像液吐出ノズル11により現像液を基板100上に供給する。その後、現像液吐出ノズル11をリンス液吐出ノズル12とともに基板100外の一方側の位置から基板100上を通過して基板100外の他方側の位置へ移動させつつリンス液吐出ノズル16によりリンス液を基板100上に供給する。
請求項（抜粋）：
基板を水平姿勢で保持する基板保持手段と、現像液を吐出する現像液吐出ノズルと、現像を停止させるためのリンス液を吐出するリンス液吐出ノズルと、前記基板保持手段に静止状態で保持された基板外の一方側の位置から前記基板上を通過して前記基板外の他方側の位置まで前記現像液吐出ノズルを前記リンス液吐出ノズルとともに移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする現像装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027 ,  B05C 5/02 ,  B05C 11/08 ,  B05C 11/10 ,  G03F 7/30 501
FI (5件)：
H01L 21/30 569 A ,  B05C 5/02 ,  B05C 11/08 ,  B05C 11/10 ,  G03F 7/30 501
引用特許：
審査官引用 (7件)
  • 現像装置及び現像方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-026657   出願人：富士通株式会社
  • 特開平2-270147
  • 特開平2-270147
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