特許
J-GLOBAL ID：200903085090830733

再溶融石英ガラスルツボ

発明者：
福井 正徳

福井 正徳 について

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鈴木 光一

鈴木 光一 について

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佐藤 貴宏

佐藤 貴宏 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアルクォーツ株式会社

三菱マテリアルクォーツ株式会社 について


代理人 (1件)： 大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-160736
公開番号（公開出願番号）：特開2001-342029
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
要約：
【要約】【課題】 ルツボ内表面層に微細気泡や異物を実質的に含まない高品質の石英ガラスルツボを提供する。【解決手段】 ルツボ内表面を赤熱温度以上および軟化温度未満に加熱すると加熱領域に輝点が生じる石英ガラスルツボについて、ルツボ外表面を軟化温度より低く維持する一方、ルツボの内表面をアーク炎によって軟化温度以上に加熱して再溶融させ、輝点を除去したことを特徴とする再溶融石英ガラスルツボ。
請求項（抜粋）：
ルツボ内表面を赤熱温度以上および軟化温度未満に加熱すると加熱領域に輝点が生じる石英ガラスルツボについて、ルツボ外表面を軟化温度より低く維持する一方、ルツボの内表面をアーク炎によって軟化温度以上に加熱して再溶融させ、輝点を除去したことを特徴とする再溶融石英ガラスルツボ。
IPC (2件)：
C03B 20/00 ,  H01L 21/208
FI (2件)：
C03B 20/00 H ,  H01L 21/208 P
Fターム (7件)：
4G014AH23 ,  5F053AA12 ,  5F053BB04 ,  5F053BB13 ,  5F053FF04 ,  5F053RR04 ,  5F053RR07
引用特許：
審査官引用 (6件)
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