特許

J-GLOBAL ID：200903085099929473

重合体湿粉の製造方法、重合体湿粉、重合体粉末およびレジスト組成物

発明者： 中村 雅 ,  脇阪 幸也
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-228902
公開番号（公開出願番号）：特開2008-050483
出願日： 2006年08月25日
公開日（公表日）： 2008年03月06日
要約：

【課題】溶媒への溶解性のよい重合体粉末、溶媒への溶解性のよい重合体湿粉およびその製造方法、並びにレジストパターンにおけるディフェクトの発生を抑えることができるレジスト組成物を提供する。【解決手段】重合体が分散媒に分散した分散液をろ過して、重合体湿粉を製造する工程と、製造された重合体湿粉を保管する工程とを有する重合体湿粉の製造方法であって、気温が常に35°C以下となるように管理された環境下で重合体湿粉を保管する、重合体湿粉の製造方法;該製造方法によって得られた重合体湿粉;該製造方法によって得られた重合体湿粉を乾燥して得られた重合体粉末;および、該重合体湿粉から得られるレジスト組成物。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

重合体が分散媒に分散した分散液をろ過して、重合体湿粉を製造する工程と、 製造された重合体湿粉を保管する工程とを有する重合体湿粉の製造方法であって、 気温が常に35°C以下となるように管理された環境下で重合体湿粉を保管する、重合体湿粉の製造方法。

IPC (5件)：

C08F 6/00 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  C08G 63/88 ,  C08F 220/26

FI (5件)：

C08F6/00 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R ,  C08G63/88 ,  C08F220/26

Fターム (44件)：

2H025AA04 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BF02 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ01 ,  2H025BJ10 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J029AA01 ,  4J029AB07 ,  4J029KH04 ,  4J029KH06 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA11Q ,  4J100BA15P ,  4J100BA40R ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC04R ,  4J100BC08P ,  4J100BC08R ,  4J100BC09P ,  4J100BC09R ,  4J100BC12P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC58Q ,  4J100CA05 ,  4J100DA25 ,  4J100EA06 ,  4J100FA19 ,  4J100GC00 ,  4J100GC07 ,  4J100GC25 ,  4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (2件)

• レジスト組成物及びレジストパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-130131   出願人：富士通株式会社
• 化学増幅型ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-012406   出願人：住友化学工業株式会社

審査官引用 (3件)

• レジスト用重合体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-140072   出願人：三菱レイヨン株式会社
• 化学増幅型レジスト用樹脂の精製方法および化学増幅型レジスト用樹脂
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-022227   出願人：三菱レイヨン株式会社
• フォトレジスト用高分子化合物の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-011035   出願人：ダイセル化学工業株式会社