針状単結晶体及びその製法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-291937
公開番号（公開出願番号）：特開平7-144999
出願日： 1993年11月22日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】【目的】キンク及びブランチが殆どない、針状単結晶体を得る。【構成】アンモニア及び過酸化水素を含む水溶液で処理した単結晶基板上に形成せしめたことを特徴とする、ブランチ及びキンクが殆どない、ほぼ直立した針状単結晶体及びその製法。

請求項（抜粋）：

アンモニア、過酸化水素及び水を含む水溶液で少なくとも処理した単結晶基板上に形成せしめたことを特徴とする、ブランチ及びキンクが殆んどない、ほぼ直立した針状単結晶体。

IPC (3件)：

C30B 29/62 , H01L 21/66 , G01R 1/06

引用特許：

審査官引用 (7件)

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