特許
J-GLOBAL ID：200903085336111995
振動式圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-099175
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296130
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：
【要約】【課題】 S/N比の改善が可能な振動式圧力センサを実現する。【解決手段】 シリコン基板の一部に形成されたダイアフラムに振動子が設けられこのダイアフラムに生じる歪に対応して変化する共振周波数を検出しこれを前記振動子に正帰還して自励振動を継続する振動式センサにおいて、両端が絶縁層で固定され梁がねじり振動で自励振動する振動子と、振動子の検出端子の反対側の絶縁層に設けられ交流の駆動電流が駆動端子を介して印加される駆動コイルとを備え、振動子に直交する磁界と駆動電流により生じるローレンツ力により振動子の梁が励振される。
請求項（抜粋）：
シリコン基板の一部に形成されたダイアフラムに振動子が設けられこのダイアフラムに生じる歪に対応して変化する共振周波数を検出しこれを前記振動子に正帰還して自励振動を継続する振動式センサにおいて、両端が絶縁層で固定され梁がねじり振動で自励振動する前記振動子と、前記振動子の検出端子の反対側の絶縁層に設けられ交流の駆動電流が駆動端子を介して印加される駆動コイルとを備え、前記振動子に直交する磁界と前記駆動電流により生じるローレンツ力により前記振動子の梁が励振されることを特徴とする振動式圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L 9/00 C
, H01L 29/84 Z
2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055CC54
, 2F055DD05
, 2F055EE39
, 2F055FF11
, 2F055GG11
, 4M112BA08
, 4M112CA42
, 4M112DA06
, 4M112EA03
, 4M112EA04
, 4M112EA06
, 4M112EA10
, 4M112FA01
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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