被測定基板の検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松永宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-364772
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183864
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【目的】各機器の待ち時間を短縮して、単位時間当たりの処理能力を高めることにある。【解決手段】搬送ロボット34及びプローブユニット22を1つずつ設けるのに対し、中継機構100,102及び検査ステージ150による被測定基板12の受け渡し経路を2系列設けるとともに、各系列に2つの中継機構100,102を設けることにより、各機器の待ち時間を著しく短縮し、単位時間当たりの処理能力を著しく高くする。

請求項（抜粋）：

被測定基板のための測定部、被測定基板のための少なくとも2つの中継部、被測定基板を有する1以上のカセットを配置するためのカセット設置部、及び、被測定基板を前記中継部と前記カセット設置部との間で搬送するためのローダ部を有する本体と、一方の前記中継部と前記測定部とに選択的に移動される第1の測定ステージと、他方の前記中継部と前記測定部とに選択的に移動される第2の測定ステージと、各中継部に配置されて前記測定ステージに対する被測定基板の受け渡しをする第1及び第2の中継機構とを含む、被測定基板の検査装置。

IPC (3件)：

G02F 1/13 101 , G01R 31/02 , G09F 9/00 352

FI (3件)：

G02F 1/13 101 , G01R 31/02 , G09F 9/00 352

引用特許：

審査官引用 (5件)

板状の被検査体の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-182449 出願人：東京エレクトロン株式会社, テル・エンジニアリング株式会社
試料搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-241529 出願人：オリンパス光学工業株式会社
基板保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-319065 出願人：株式会社ニコン

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