特許
J-GLOBAL ID：200903085412036302

画像計測装置

発明者：
有馬 洋文

有馬 洋文 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-171654
公開番号（公開出願番号）：特開2005-010248
出願日： 2003年06月17日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：
【課題】ステージの移動やウエハ搬送機構の作動等の揺れの影響を受けることなく重ね合わせマークのエッジを確実に検出し、正確な画像計測を行うことができる画像計測装置を提供する。【解決手段】ウエハ5の画像を取得するCCDカメラ40の振動を加速度センサ50で検出し、その検出結果をタイミング制御部60へ出力する。タイミング制御部60は検出結果に基づいてCCDカメラ40の画像取得タイミングを制御する。例えば、加速度が画像に影響を与えない値以下のとき、撮像トリガ信号60aをCCDカメラ40へ出力し、画像を取得する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
測定対象物の画像を取得する撮像手段の振動を検出する振動検出手段と、この振動検出手段の検出結果に基づいて前記撮像手段の画像取得タイミングを制御する画像取得タイミング制御手段とを備えていることを特徴とする画像計測装置。
IPC (5件)：
G03B5/00 ,  G01B11/00 ,  G03B15/00 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027
FI (5件)：
G03B5/00 L ,  G01B11/00 H ,  G03B15/00 T ,  G03F9/00 H ,  H01L21/30 525F
Fターム (21件)：
2F065AA12 ,  2F065AA14 ,  2F065AA20 ,  2F065BB01 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065DD14 ,  2F065EE06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065FF63 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065NN11 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ27 ,  5F046FA10 ,  5F046FA20 ,  5F046FC04
引用特許：
審査官引用 (8件)
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