蒸着層の製造方法および製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：奥山尚一 , 有原幸一 , 松島鉄男 , 河村英文 , 岡本正之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-291259
公開番号（公開出願番号）：特開2008-108611
出願日： 2006年10月26日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：

【課題】蒸着時の低製膜速度におけるコントロール性を高め、かつ、有機林料を高温に晒すことなく有機材料に発生する問題を解決することが可能である製膜方法を提供する。【解決手段】対向する陽極電極と陰極電極と、両電極の間に配され、二種以上の有機化合物を含有する少なくとも1層の有機層とを備える有機EL素子の有機層の製造方法であって、上記有機層が、基板からの蒸発源までの距離、または基板表面の中心と蒸発源の蒸発表面の中心とを結ぶ線が該基板表面となす角度が異なる、蒸発速度の異なる二以上の蒸発源を用いて、真空成膜室内で基板上に蒸着形成される有機EL素子の有機層の製造方法を提供する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

基板からの蒸発源までの距離、または基板表面の中心と蒸発源の蒸発表面の中心とを結ぶ線が該基板表面となす角度が異なる、蒸発速度の異なる二以上の蒸発源を用いて、真空成膜室内で基板上に蒸着層を形成する蒸着層の製造方法。

IPC (3件)：

H05B 33/10 , H01L 51/50 , C23C 14/24

FI (3件)：

H05B33/10 , H05B33/14 A , C23C14/24 C

Fターム (20件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC45 , 3K107DD53 , 3K107DD73 , 3K107DD76 , 3K107DD86 , 3K107FF15 , 3K107GG04 , 3K107GG28 , 3K107GG32 , 3K107GG34 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029AA24 , 4K029BA62 , 4K029CA01 , 4K029DB14 , 4K029EA02 , 4K029JA02

引用特許：

審査官引用 (6件)

蒸着源、蒸着装置、有機EL素子、有機EL素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-085417 出願人：東北パイオニア株式会社
有機エレクトロルミネッセント素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-075833 出願人：城戸淳二, 株式会社アイメス
フェナントロリン誘導体およびそれを用いた発光素子、発光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-194534 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所

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